除了一些特殊的树脂不能进行再生之外，超纯水抛光树脂一般来说是能够再生的，不过超纯水抛光树脂的再生操作要比其他的树脂要难一些，超纯水抛光树脂的详细步骤可以分为分层、再生、清洗、混合以及正洗。

超纯水抛光树脂由什么组成？
在了解超纯水树脂能否再生之前，我们先来了解一下超纯水树脂是由什么组成的，超纯水抛光树脂一般是由两种树脂混合而成，阴、阳离子交换树脂会按照一定的比例进行混合，一般这个比例是1:2或者1:1，这两种树脂一种是阳离子交换树脂，另一种是阴离子交换树脂，阳离子交换树脂会将水中的阳离子吸附，而阴离子交换树脂能够将阴离子吸附，使产水达到超纯水的标准，一般超纯水树脂的产水电阻率能够达到18兆欧以上。

超纯水抛光树脂的再生方法：

1.分层：
先打开反洗阀与反洗排放阀，反洗流速不能太快，一般在10m/h左右，直至阴、阳树脂分层明显，反洗结束应缓慢关闭反洗阀，使树脂颗粒逐步沉降，以达到较理想的分层效果。如果分层效果不明显，可以进行多次分层。

2.再生：
阴树脂可以使用浓度为5%的碱液（NaOH）再生，清洗时间大概在40分钟左右，流速应保持6m/h，废液会从中间排管排放，为防止碱液进入阳树脂内，可以从底部进入少量的水与再生碱液一起从中排管排放。

阳树脂则使用浓度为4%的酸液（HCL）清洗，时间大概在30分钟左右，为防止酸液进入阴树脂内，并对阴树脂进行小流量清冼，因此，从进碱管进入一定清流洗水，与再生酸液一起从中排管排放。

3.清洗：
继续以流速6m/h进行置换清洗，废液中排管排放，阴树脂直至排出水OH-碱度小于0.5［H+］mmol/l为止，阳树脂直至排出水酸度小于0.5［H+］mmol/l为止。

4.混合：
将树脂罐的水放至树脂层上10-500px左右，然后进行混合，混合时间大概在10分钟左右，压力在1-1.5kg/cm²。

5.正洗：
用水从上往下清洗树脂，当水充满设备时打开下排阀，关闭排气阀，正洗流速同制水流速，当出水电阻率大于出水要求时，即可正常使用。